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    當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料科學(xué)檢測設(shè)備沈陽科學(xué)儀器PVD500沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)
    沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)

    產(chǎn)品簡介

    沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--PVD500

    真空室結(jié)構(gòu):方形前開門

    真空室尺寸:p500x500x500mm

    極限真空度:≤3.0E-5Pa

    沉積源:永磁靶4套,2英寸

    樣品尺寸,溫度:p4英寸,1片,最高800°C

    占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米

    電控描述:全自動(dòng)

    工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%

    產(chǎn)品型號(hào):PVD500
    更新時(shí)間:2025-06-26
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    訪問量:527
    詳細(xì)介紹在線留言

    高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--PVD500

    真空室結(jié)構(gòu):方形前開門

    真空室尺寸:p500x500x500mm

    極限真空度:≤3.0E-5Pa

    沉積源:永磁靶4套,2英寸

    樣品尺寸,溫度:p4英寸,1片,最高800°C

    占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米

    電控描述:全自動(dòng)

    工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%

    特色參數(shù):

    產(chǎn)品概述:
    本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。

    設(shè)備特點(diǎn):

    本設(shè)備是一個(gè)鍍膜平臺(tái),可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng)、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等。
    設(shè)備用途:
    用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項(xiàng)目



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